Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности

Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности





Министерство образования Русской Федерации


УТВЕРЖДАЮ
Начальник управления образовательных

программ и эталонов высшего и среднего

проф образования

___________________ Г.К. Шестаков


«____» _____________ 2000 г.


Примерная программка дисциплины “Разработка МИКРОСИСТЕМ”

Рекомендуется Минобразованием Рф для специальности

201900 – «МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА»


направления подготовки дипломированного спеца

654100 ЭЛЕКТРОНИКА И МИКРОЭЛЕКТРОНИКА


1. Цели Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности и задачки дисциплины.

Целью преподавания дисциплины является формирование познаний в области базисных методов нанесения, удаления и модифицирования материалов на микроуровне и особых технологических операций микроформообразования и микросборки, применяемых при разработке компонент микросистемной техники

2.Требования Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности к уровню освоения содержания дисциплины.

В итоге исследования дисциплины студенты должны:

2.1. Знать:

2.2. Иметь способности:

3. Объем дисциплины и виды Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности учебной работы.


Вид учебной работы

Всего часов

Семестры

Общая трудозатратность дисциплины

170

8










Аудиторные занятия

85

8










Лекции

51

8










Практические занятия (ПЗ)

17

8










Лабораторные работы (ЛР)

17

8










Самостоятельная работа

85

8










Курсовой проект (работа)

25

8










другие виды самостоятельной работы

60

8










Вид итогового контроля (зачет, экзамен)




Зачет, экзамен











4. Содержание дисциплины

4.1. Разделы Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности дисциплины и виды занятий


№ п/п

Раздел дисциплины

Лекции

ПЗ

ЛР




Введение

*





1.

Системный подход к технологии микросистем

*

*



2.

Производственная чистота, гигиена и безопасность

*

*

*

3.

Базисные операции микротехнологии

*

*

*

4.

Литографические процессы

*

*

*

5.

Особые операции технологии микросистемной техники

*

*

*

6.

Процессы сборки микросистем

*



*




Заключение

*







4.2. Содержание разделов дисциплины

История появление и развития микротехнологии. Технологический Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности базис и главные организационные принципы.

Системная модель технологического процесса: объект, воздействие, процесс. Систематизация процессов микро- и нанотехнологии по физико-химической сути: механический, тепловой, хим, корпускулярно-полевой; виду процесса: нанесение Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности, удаление, модифицирование; нраву протекания процессов: полный, локальный, селективный, избирательный, анизотропный; методу активации: тепло, излучение, поле.

Виды теплового и корпускулярно-лучевого воздействий: резистивный, лучистый и индукционный нагрев, электрические и лазерные пучки Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности, плазма и ионные пучки. Каталитические характеристики поверхности и атомно-силовое воздействие.

Незапятнанные помещения: систематизация производственных помещений по чистоте воздушной среды и локальному климату, источники загрязнений, методы обеспечения и поддержания Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности чистоты.

Вакуум: глубина вакуума, средства откачки и способы контроля.

Технологические среды: чистота реактивов, воды и газов. Аппаратура и элементы газовых и жидкостных систем. Базисные операции чистки водянистых и газообразных сред. Чистка поверхности Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности пластинок. Безопасность работы в незапятнанных помещениях: ядовитые, взрывоопасные и пожароопасные среды. Утилизация отходов.

Способы нанесения вещества. Оборудование и способы нанесения вещества в вакууме: вакуум-термическое и электронно-лучевое испарение Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности, молекулярно-лучевая эпитаксия. Оборудование и способы ионно-плазменного осаждения: катодное, магнетронное, реактивное распыления; ионно- и плазмохимическое осаждение. Оборудование и способы осаждения из газовой фазы: получение поликристаллического и бесформенного гидрогенизированного кремния Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности, оксида и нитрида кремния; газофазная эпитаксия кремния, бинарных и многокомпонентных соединений. Оборудование и способы осаждения из водянистой фазы: жидкофазная эпитаксия, химическое осаждение слоев.

Способы удаления вещества. Шлифование и полирование пластинок. Химическая Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности, ультразвуковая и электроэрозионная обработки. Механическое, лазерное и электронно-лучевое скрайбирование. Процессы хим травления: механизмы травления; оборудование, способы и среды для жидкостного и газового травления. Ионно-плазменное травление: оборудование, способы и механизмы травления; ионно Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности-лучевое, плазмохимическое, реактивное ионно-плазменное, ионно-химическое травление.

Способы модифицирования вещества. Оборудование и способы окисления в газовой и водянистых средах. Химическое окисление. Окисление и нитрирование в плазме. Диффузия примесей: рассредотачивание примесей при Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности диффузии, оборудование и способы диффузии из газообразных, водянистых и жестких источников. Ионная имплантация: рассредотачивание примесей, оборудование и способы ионной имплантации. Высокоэнергетические сильноточные процессы ионной имплантации: окисление, нитрирование, протонирование, радиационно- стимулированная диффузия, хим синтез. Активация Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности процессов при ионном легировании и хим синтезе: тепловой и корпускулярно-лучевой отжиг.

Систематизация базисных способов литографии: фото- , рентгено-, электроно- и ионолитография. Литографический цикл: резисты и методы их нанесения Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности, положительные, нехорошие, водянистые и сухие резисты; способы увеличения адгезии, плазмостойкости; планаризация, предэкспозиционная обработка, проявление и сушка. Фотошаблоны. Аппаратура и методы совмещения и экспонирования. Пространственное разрешение.

Эволюция процессов экспонирования: высокоэффективные источники далекого ультрафиолета Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности, оптическая литография с фазовым сдвигом, стереолитография, электроно-, ионо-, рентгенолитография. Литография с внедрением синхротронного излучения. Большая субмикронная литография.

Базисные технологические операции «поверхностной» микромеханики: избирательное жидкостное и газовое травление, комплиментарные Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности материалы, «жертвенные» слои.

Базисные технологические операции «объемной» микромеханики. Жидкостное ориентационно-чувствительное травление, морфолого-топологические преобразования на базе анизотропии; химическое травление, получение пористого кремния, «стоп»-слои, фотоиндуцированное травление. Ионно-плазменная разработка большого Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности формообразования: высокопроизводительное реактивное ионно-плазменное травление, маскирующие покрытия, уход геометрических размеров. Лазерные технологии большого формообразования: лазерный послойный топологически управляемый синтез, лазерная большая полимеризация, стереолитография. Механические технологии большого формообразования: алмазное, электроэрозионное и ультразвуковое Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности микропрофилирование.

Разработка трехмерного формообразования с субмикронным разрешением: базисные процессы LIGA-технологии, экспонирование синхротронным излучением, химическое осаждение, гальванопластика, микропрессование.

Высокопроизводительная стекловолоконная разработка трехмерного формообразования: формирование комплиментарного стекловолокна, перетяжка, утоньшение, растворение, резка.

Виды сборки и герметизации: искусственная, естественная. Искусственная сборка и герметизация: установка кристаллов, термомеханическая сопоставимость кристалла и корпуса; термокомпрессия, сварка и пайка выводов; беспроволочный, большой установка; корпусная и бескорпусная герметизация; сварка, пайка Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности, обволакивание, заливка, прессование. Естественная сборка: комплиментарные пары, термомеханическая и кристаллохимическая сопоставимости; процессы корпусирования и герметизации способами заращивания, сращивания; термо- и электродиффузия.

Эволюция процессов микротехнологии. Самоформирование. Кластерные технологические комплексы. ЕСТД и её применение Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности. Системный подход к управлению качеством продукции.


5. Лабораторные и практические занятия.

5.1. Лабораторный практикум.


№ п/п

№ раздела дисциплины
^ Наименование лабораторных работ

1.

1

-

2.

2

  • Средства контроля чистоты производственных помещений.

  • Способы чистки и контроля поверхности пластинок.




3.

3

  • Нанесение железных Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности слоев электронно-лучевым способом.

  • Нанесение диэлектрических слоев способом реактивного ионно-плазменного распыления.

  • Нанесение полупроводниковых слоев способом газофазного осаждения.

  • Тепловое окисление кремния.

  • Диффузия примесей из твердого источника.

  • Имплантация примесей в полупроводники.

  • Ионное травление металлов.




4.

4

  • Перенос Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности изображения в системе «фоторезист-подложка» контактной фотолитографией.

  • Исследование процесса совмещения и экспонирования в проекционной фотолитографии.

  • Базисный цикл литографического процесса..




5

5

  • Химическое осаждение металлов.

  • Жидкостное ориентационно-чувствительное травление кремния.

  • Высокопроизводительное реактивное ионно-плазменное травление Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности кремния.

  • Исследование процесса травления структур с «жертвенными» и «стоп»-слоями




6

6

  • Процессы термокомпрессии и ультразвуковой микросварки.

  • Оптимизация процесса монтажа кристалла в корпус по термомеханическим напряжениям.





5.2. Рекомендуемый список практических занятий.


№ п/п

№ раздела дисциплины
^ Темы практических Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности занятий

1

1
  • Принципы построения экспертной системы микротехнологии.

  • Расчет характеристик резистивного и индукционного нагревов.

  • Оценка характеристик технологической плазмы.

2.

2
  • ^ Расчет адсорбционной возможности поверхности зависимо от глубины вакуума и состава среды.
Расчет концентрации аэрозолей в помещениях для Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности разных критерий чистки воздуха.

3.

3
  • ^ Расчет главных характеристик процесса при нанесении материалов в вакууме из молекулярных пучков.
Расчет рассредотачивания примесей при диффузии.

  • Расчет рассредотачивания примесей при ионной имплантации.




4.

4
  • ^ Оценка пространственного разрешения Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности при оптической литографии.
Оценка пространственного разрешения при электронолитографии.



5

5

  • Объемно-топологические преобразования при ориентационно-чувствительном травлении.

  • Расчет характеристик взаимодействия лазерного излучения с жестким телом.
^ Расчет характеристик взаимодействия ионного пучка с жестким телом.



6

6


6. Учебно Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности-методическое обеспечение дисциплины.


6.1. Рекомендуемая литература.

а) основная литература:

  1. Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П. Физико-химические базы технологии микроэлектроники. М., Металлургия, 1979.

  2. Пигучин И.Г., Таиров Ю.М. Разработка полупроводниковых устройств. М., В.Ш., 1984.

  3. Аброян Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности И.А., Андронов А.Н., Титов А.И.. Физические базы электронно-ионной технологии. М., В.Ш., 1984.

  4. Вендик С.Г., Горин Ю.Н., Попов В.Ф.. Корпускулярно-фотонная разработка. М., В.Ш., 1984.

  5. Курносов Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности А.И., Юдин В.В. Разработка производства полупроводниковых устройств и интегральных микросхем. М., В.Ш., 1986.

  6. Бер А.Ю., Минсор О.Е. Сборка полупроводниковых устройств и интегральных схем. М., В.Ш Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности., 1986.

  7. Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА. М., В.Ш., 1987.

  8. Коледов Л.А. Разработка и конструирование микросхем, процессоров и микросборок. Радио и связь, 1989.

  9. Парфенов С.Д. Разработка микросхем М. В.Ш Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности.,1990.

  10. Алехин А.П. Физико-химические базы субмикронной технологии. М., МИФИ, 1996.


б) дополнительная литература:

  1. Брюэр Дж. Р.. Электронно-лучевая разработка в изготовлении микроэлектронных устройств. Радио и связь, 1984.

  2. Броудай И., Мерей Дж.. Физические базы Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности микротехнологии. М., Мир, 1985.

  3. Риссел Х., руге И. Ионная имплантация. Пер. с нем. под ред. М.И. Гусева. М., Радио и связь, 1985.

  4. Таруи Я. Базы технологии сверхбольших интегральных схем. М., Радио и Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности связь, 1985.

  5. Валиев К.А., раков А.В. Физические базы субмикронной литографии. М., Радио и связь, 1985.

  6. Дорфман В.Ф. Синтез твердотельных структур. М., Мир, 1986.

  7. Разработка СБИС, под ред. С.Зи, пер. с англ. под Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности ред. Чистякова Ю.Д., М., Мир, 1986.

  8. Киреев В.Ю., Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для травления и чистки материалов. М., Радио и связь, 1987.

  9. Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Растений Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности Ю.Б. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные боты. М., Радио и связь, 1988.

  10. Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры. Под ред Ченга Л., Плога К. -М., Мир, 1989.

  11. Моряков О.С. Устройство и наладка оборудования Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности полупроводникового производства. М., В.Ш., 1989.

  12. Моделирование полупроводниковых устройств и технологических процессов. Под ред. Д. Миллера. М., Радио и связь, 1989.

  13. Незапятнанные помещения. Под ред. Хаякавы И. М., Мир, 1990.

  14. Готра З.Ю. Разработка микроэлектронных устройств. Справочник Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности. М., Радио и связь, 1991.

  15. Высоковакуумное создание в микроэлектронной индустрии. Под ред. Дюваль А. -М., Мир, 1991.

  16. Моро У. Микролитография. М., Мир, 1991.

  17. Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники. Под ред. Сазонова А.А. М., В.Ш Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности., 1991.

  18. Пипко А.И., Плисковский В.Я. Базы вакуумной техники. М., Энергоиздат, 1992.

  19. Мальгин С.Н. Элементная база электрического машиностроения. С.-П., РНИИ Электронстандарт, 1993.

  20. Неволин В.К. Базы туннельно-зондовой нанотехнологии Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности. Учеб. пособие. М., Изд-во МИЭТ, 1996.

  21. Лучинин В.В., Дунаев А.Н., Казак-Казакевич А.З. и др. Атомно-молекулярная разработка и диагностика. Учеб. пособие. С. Пб, Изд-во СПбГЭТУ, 1998.


6.2. Средства обеспечения освоения Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности дисциплины.


7. Материально-техническое обеспечение дисциплины.

  1. Методические советы по организации исследования дисциплины.

Для реализации целей и задач курса предлагается предугадать в программке дисциплины курсовые работы. Требования к содержанию курсовой Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности работы определяются нравом задачки по исследованию определенного типа технологического процесса, применяемого базисного материала и структуры создаваемого прибора. В курсовой работе должны быть отражены последующие вопросы:


Программка составлена в согласовании с Муниципальным образовательным Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности эталоном высшего проф образования по направлению подготовки дипломированных профессионалов 6541.00 – «Электроника и микроэлектроника», специальность 201900 «Микросистемная техника»


Программку составили:


Лучинин В.В.


- доктор С.-Петербургского муниципального электротехнического института “ЛЭТИ”

Цариц М.А.

- доктор Столичного Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности института электрической техники (Технический институт) «МИЭТ»

Корляков А.В..

- доцент С.-Петербургского муниципального электротехнического института “ЛЭТИ”


Программка одобрена на заседании Учебно-методического Совета по направлению подготовки дипломированных профессионалов 654.100 – «Электроника и Примерная программа дисциплины “ технология микросистем рекомендуется Минобразованием России для специальности микроэлектроника»,

__15 ноября 2000 г.__ протокол №__4___________


Председатель Совета УМО по образованию в области автоматики, электроники, микроэлектроники и радиотехники, доктор

_______________________ Пузанков Д.В.

primeri-razvetvlyayushihsya-algoritmov.html
primeri-reshenij-zadach-po-astronomii.html
primeri-resheniya-prakticheskih-zadach.html